貴州流量型蠕動泵生產廠家
發(fā)布時間：2024-01-30 01:28:59
貴州流量型蠕動泵生產廠家
高精密蠕動泵在半導體行業(yè)的應用。高精度蠕動泵非常適合半導體產業(yè)的高純度和腐蝕性化學環(huán)境。對于CMP，它提供了在拋光過程中向芯片分配點漿料所需的線性和重復性，低剪切力對CMP漿料溫和，通過變速操作，可以在大范圍的操作范圍內控制流量，保持過程的完整性。能實現漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布，有助于實現這些目標。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設計提供了直線流動路徑，沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學物質和去離子水的浪費。
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蠕動泵的優(yōu)點1、液體僅接觸軟管，不接觸泵體，方便清洗，更換軟管方便；2、低能耗：有自吸、單向閥能力；3、傳輸好：分裝精度可達到1%～0.5%；4、低剪切：可泵送剪切液體及溶劑，可輸送含固流體；5、密封性好：具有良好的自吸能力，可空轉，可防止回流；6、易維護：快速插接,無閥門和密封件，軟管是易損件；7、具有雙向同等流量輸送能力；8、無液體空運轉情況下不會對泵有影響；9、沒有閥、機械密封和填料密封裝置，也就沒有這些產生泄露和維護的因素；10、能輕松的輸送液提或氣液混合相流體。
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蠕動泵的特點和優(yōu)勢：1、蠕動泵具有截止閥功能，沒有單向止回閥，沒有密封件，不會產生阻塞或磨損問題。2、液體只經過蠕動泵軟管，沒有死角，非常潔凈衛(wèi)生。3、蠕動泵更換軟管簡單，易于維護，不需要專業(yè)維護工人，軟管達到使用壽命后普通操作工人就可以更換。蠕動泵軟管的使用壽命可以參考蠕動泵軟管的對比壽命表。從泵送精度方面說屬于計量泵、恒流泵；從結構來說是軟管泵；從原理來說是蠕動泵。但蠕動泵在行業(yè)內通常是指出口壓力較低，流量較小的泵。軟管泵在行業(yè)內是指出口壓力較大，流量較大的泵。
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蠕動泵的精度問題全部都是圍繞軟管彈性的變化產生的，其次解釋第二方面的原因，泵頭的尺寸精度問題，同樣一根軟管，如果滾輪和圓弧間的間隙過小，或者間隙不均勻，都會造成軟管局部被過度擠壓，使軟管產生塑性的形變，導致軟管的彈性發(fā)生劇烈變化，從而影響傳輸的精度。不均勻的壓管，還會導致軟管壽命的顯著降低，從而增加蠕動泵的使用成本。想要提高蠕動泵的精度，就要選用較高品質的蠕動泵泵頭，排除泵頭尺寸的影響。
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蠕動泵傳輸流體是有脈動的，是一股一股傳輸流體的。對于這種脈動很明顯的流體傳輸情況，常規(guī)的流量計是無法準確測量的。想要準確測量蠕動泵的流速，就必須使用容積類型的流量計，而這種流量計只能適應一部分的流體傳輸，對于有顆粒的流體是無法測量的。容積類的流量計對于液體的傳輸是有壓力要求的，達不到一定的壓力，液體無法通過容積類的流量計，并且這種類型的流量計價格往往比較昂貴。所以目前市面上的流量型蠕動泵均為開環(huán)形式的產品，即流量型蠕動泵顯示的流速數值是通過計算得來的，并不是實際傳輸流體的流速。